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真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强

真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人，主要应用于半导体工业中，实现晶圆在真空腔室内的传输。

真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强，其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。精度要求较高。喷漆机器人一般采用液压驱动，具有动作速度快、防爆性能好等特点，可通过手把手示教或点位示数来实现示教。

自由物体在空间自六个自由度

自由物体在空间自六个自由度（三个转动自由度和三个移动自由度）。工业机器人往往是个开式连杆系，每个关节运动副只有一个自由度，因此通常机器人的自由度数目就等于其关节数。机器人的自由度数目越多，功能就越强。有效负载是指机器人操作机在工作时臂端可能搬运的物体重量或所能承受的力或力矩，用以表示操作机的负荷能力。

轨迹精度是指机器人机械接口

轨迹精度是指机器人机械接口从同一方向n次跟随指令轨迹的接近程度。轨迹重复精度是指对一给定轨迹在同方向跟随n次后实到轨迹之间的不一致程度。速度和加速度是表明机器人运动特性的主要指标。在机器人说明书中，通常提供了主要运动自由度的稳定速度，但在实际应用中单纯考虑稳定速度是不够的，还应注意其允许加速度。动态特性结构动态参数主要包括质量、惯性矩、刚度、阻尼系数、固有频率和振动模态。